集成电路全产业链相关惠企政策

七、附件:集成电路重点鼓励业态目录

  一、集成电路制造类

  (一)集成电路制造

  1.内存产品制造线(核心项目):利基型内存制造、高端内存制造

  2.逻辑IC产品制造线

  (二)集成电路封测

  1.内存封测

  2.TSV(硅穿孔技术)

  3.SIP(系统级封装)

  4.WL-CSP(晶圆级封装)

  (三)集成电路设计

  1.内存相关:内存控制器设计

  2.智能穿戴装置(鞋服)/消费电子终端方面:包括网络芯片设计、RFID设计、MEMS传感器设计、物联网芯片设计

  3.光电显示模组方面:面板驱动设计、触控设计、高速接口设计、LED芯片设计

  二、集成电路配套类

  (一)集成电路装备

  1.制造设备:干法刻蚀机、离子注入机、气相沉积设备、清洗设备、洗净/干燥装备、涂布/显影装备、切割机、Plasma CVD、干式刻蚀、CMP研磨装备

  2.封装设备:光刻机、打线机、绑定机、清洗设备

  3.检测设备:线宽和缺陷检测电镜、光学检测仪器、真空泵、检漏仪、内存测试机、逻辑测试装备

  (二)集成电路材料

  1.光罩

  2.工业气体

  3.硅晶圆

  4.抛光液

  5.光刻胶

  6.靶材

  7.支撑环

  8.环氧树脂

  9.金属丝线

  三、集成电路应用终端类

  (一)智能穿戴产品(包括智能衣、感应鞋、智能运动健身器械、智能帽、智能袜、智能行李箱等)

  (二)智能装备(包括数控机床等)

  (三)智能汽车(包括汽车电子、无人车、车联网等)

  (四)物联网